BudgetSensors—HS20MG,HS100MG,HS500MG横向(XY)及
  高度(Z)校正标样
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产品描述

     BudgetSensors 推出的一套高度标准---HS-20MG,HS-100MG,HS-500MG作为对于增长需求价格合理、质量高的AFM校准标准的解决办法。

     HS-20MG,HS-100MG,HS-500MG是一种 5x5mm硅芯片,在芯片上有一批二氧化硅结构。我们的制造过程保证芯片上结构的完好均匀性。反过来,这保证您AFM系统简单又可靠的Z轴线校准。

     校准范围位于芯片中心,可以很快通过AFM光学显微镜系统而找到。结构的台阶高度是20nm左右,包装盒上的标志都有每一个芯片上的具体数值。芯片上的不同形状、斜度结构都使成整体。大的正方(1x1mm)包括10μm间距的正方形柱子和洞。小的正方(500x500μm)包括5μm间距的圆形柱子和洞,还有X、Y方向的线路。
除了Z轴线校准以外,这种设计还可以用于大的扫描机(40-100μm)的X、Y轴线校准 。而且,因为结构的匀称性,校准您AFM系统的时候不用在X、Y轴线校准的中间使样品旋转并重新排列。

     我们使用质量高大的导电环氧树脂把HS-20MG,HS-100MG,HS-500MG芯片贴在12mm金属圆盘上,这样可以产品到达客户之后直接开始使用。



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芯片

BudgetSensors—HS20MG,HS100MG,HS500MG横向(XY)及高度(Z)校正标样

基片尺寸

5 x 5 mm²

台阶高度

20nm,~100nm,~500nm 每一个包装盒上的标志都有具体的数值

几何结构

- 1x1mm的正方上每10μm间距有正方形柱子和洞

- 500x500μm的正方上每5μm间距有圆形柱子和洞,还有XY方向的线路